美國(guó)MOTT GasShield® 表面貼裝過濾器 GSMM-75-010-14
產(chǎn)品編號(hào)：6813175
產(chǎn)品規(guī)格
工作條件
? 最大工作壓力：1800 psig （124.1 barg）
? 惰性氣體的高工作溫度：460°C
? 最大壓差：500 psid （34.4 bar）
材料
? 硬件：316LSS 或 Alloy 22*
? 過濾介質(zhì)：五®鎳、316L SS 或合金 22*
? 接液硬件表面光潔度：5 Ra
? 也可提供定制材料
*合金 22 或 UNS N06022 是一種鎳-鉻-鉬高溫合金，通常稱為哈氏合金® C-22®
規(guī)格
顆粒去除粒徑： ≥ 0.0015 微米
氦氣泄漏等級(jí)： 1 x 10-9 大氣壓 cc/秒
水分貢獻(xiàn)： 根據(jù) SEMI F27 測(cè)試方法，在低流量環(huán)境吹掃下 1 小時(shí)后 <10 ppb
總碳?xì)浠衔铮?低于 SEMASPEC 90120396B 測(cè)試方法的可檢測(cè)限值
顆粒脫落： 根據(jù) SEMI F43-0308 測(cè)試方法，高于本底的零顆粒貢獻(xiàn)（<1 顆粒/立方英尺）
配件和尺寸
GSMM-75 C 型密封圈，用于 1.125”
零件描述 配件類型 過濾材料 外殼材料 過濾器設(shè)計(jì) 流量等級(jí) （SLPM） 總高度（英寸）
GSMM-75-020-12
GSMM-75-030-12
GSMM-75-050-12 C 型密封 鎳 316L 不銹鋼 1.125” 20-50 1.6-4.0
GSMM-75-010-11
GSMM-75-030-11 C 型密封 316L 不銹鋼 316L 不銹鋼 1.125” 10-30 2.4-4.0
GSMM-75-010-33
GSMM-75-030-33 C 型密封 合金 22* 合金 22* 1.125” 10-30 2.4-4.9
GSMM-60 C 型密封圈，用于 1.500 英寸
零件描述 配件類型 過濾材料 外殼材料 過濾器設(shè)計(jì) 流量等級(jí) （SLPM） 總高度（英寸）
GSMM-60-010-12
GSMM-60-050-12
GSMM-60-100-12 C 型密封 鎳 316L 不銹鋼 1.500” 10-100 1.3-4.5
GSMM-60-010-11
GSMM-60-020-11
GSMM-60-075-11 C 型密封 316L 不銹鋼 316L 不銹鋼 1.500” 10-75 2.2-5.8
GSMM-60-010-33
GSMM-60-020-33
GSMM-60-075-33 C 型密封 合金 22* 合金 22* 1.500” 10-75 2.4-6.1
GSMM-55 1.125“ W 型密封圈
零件描述 配件類型 過濾材料 外殼材料 過濾器設(shè)計(jì) 流量等級(jí) （SLPM） 總高度（英寸）
GSMM-55-020-12
GSMM-55-030-12
GSMM-55-050-12 W 型密封圈 鎳 316L 不銹鋼 1.125” 20-50 1.7-4.2
GSMM-55-010-11
GSMM-55-030-11
GSMM-55-050-11 C 型密封 316L 不銹鋼 316L 不銹鋼 1.125” 10-50 2.6-4.0
GSMM-60-010-33
GSMM-60-020-33
GSMM-60-075-33 C 型密封 合金 22* 合金 22* 1.125” 10-30 2.5-5.0
GSMM-50 W 型密封圈，用于 1.500 英寸
零件描述 配件類型 過濾材料 外殼材料 過濾器設(shè)計(jì) 流量等級(jí) （SLPM） 總高度（英寸）
GSMM-50-010-12
GSMM-50-050-12
GSMM-50-100-12 W 型密封圈 鎳 316L 不銹鋼 1.500” 10-100 1.3-4.5
GSMM-50-010-11
GSMM-50-020-11
GSMM-50-030-11
GSMM-50-075-11 W 型密封圈 316L 不銹鋼 316L 不銹鋼 1.500” 10-75 2.2-5.8
GSMM-50-010-33
GSMM-50-020-33
GSMM-50-075-33 C 型密封 合金 22* 合金 22* 1.500” 10-75 2.2-6.1
*提供定制設(shè)計(jì)和配件。
