天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢經(jīng)銷德國ATL Lasertechnik準分子激光器ATLEX-500-I
產(chǎn)品型號：ATLEX-500-I
關鍵字：ATL Lasertechnik準分子激光器ATLEX-500-I
關鍵字描述：ATLEX-S系列激光是一種非常緊湊的紫外光源，專為中低占空比應用而設計。
產(chǎn)品介紹：
軟電暈預電離
高壓固態(tài)脈沖發(fā)生器
激光頭體積<3l
TMC（全金屬陶瓷）容器
集成真空泵和鹵素過濾器
風冷/可選液冷，主動熱管理
RS-485，RS232，USB和光纖接口，用于系統(tǒng)集成
可沖洗光學支架
能量穩(wěn)定模式
新一代緊湊型風冷，高重復頻率的準分子激光器，專為中低占空比應用而設計。
參數(shù)：
|
氣體介質 |
F2 |
ArF |
KrF |
XeCl |
XeF |
|
波長 nm |
157 |
193 |
248 |
308 |
351 |
|
高壓開關技術 |
固態(tài)開關 |
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|
重復率max. Hz |
1 |
10 |
15 |
8 |
7 |
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脈沖能量max. mJ |
0.5 |
4.0 |
6.5 |
3.0 |
2.5 |
|
平均功率max. W |
500 |
||||
|
脈沖持續(xù)時間 ns |
5-8 |
||||
|
光束尺寸（V x H） mm |
4 x 6 |
||||
|
光束發(fā)散角（V x H）mrad |
1 x 2 |
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|
能量穩(wěn)定性（標準偏差）% |
< 3 |
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尺寸（長x寬x高）mm |
540 x 470 x 370 |
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重量 kg |
60 |
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冷卻 |
冷卻空氣/可選液體 |
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電源要求 |
230 VAC / 6,3 A / 1相/ 50-60 Hz |
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