千級無塵車間(Clean Room),亦稱為無塵室或潔凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有無塵車間,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面,無塵車間被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。
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