MEMS甲烷傳感器
產(chǎn)品介紹
MEMS甲烷傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板，所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料。當(dāng)傳感器所處存在氣體環(huán)境中時(shí)，傳感器的電導(dǎo)率隨空氣中被檢測(cè)氣體的濃度而發(fā)生改變。該氣體的濃度越高，傳感器的電導(dǎo)率就越高。使用簡(jiǎn)單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對(duì)應(yīng)的輸出信號(hào)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
MEMS工藝、結(jié)構(gòu)堅(jiān)固
低功耗
高靈敏度
快速的響應(yīng)恢復(fù)特性
簡(jiǎn)單的驅(qū)動(dòng)電路
主要應(yīng)用
適用于手機(jī)、電腦等消費(fèi)類電子產(chǎn)品應(yīng)用檢測(cè)燃?xì)庑孤灰策m用于用于家庭、商業(yè)用所的可燃?xì)怏w泄漏監(jiān)測(cè)裝置、氣體檢漏儀、防火/安全探測(cè)系統(tǒng)。
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產(chǎn)品型號(hào) |
GM-402B |
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產(chǎn)品類型 |
MEMS可燃?xì)怏w傳感器 |
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標(biāo)準(zhǔn)封裝 |
陶瓷封裝 |
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檢測(cè)氣體 |
甲烷、丙烷等 |
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檢測(cè)濃度 |
1-10000ppm(CH4) 1~10000ppm（C3H8） |
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標(biāo)準(zhǔn)電路條件 |
回路電壓 |
Vc |
≤24V DC |
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加熱電壓 |
VH |
2.8V±0.1V ACorDC |
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負(fù)載電阻 |
RL |
可調(diào) |
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標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試條件下氣敏元件特性 |
加熱電阻 |
RH |
80Ω±20Ω（室溫） |
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加熱功耗 |
PH |
≤80mW |
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敏感體表面電阻 |
Rs |
1KΩ-30KΩ(in 5000ppm CH4) 1KΩ-30KΩ(in 2000ppm C3H8) |
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靈敏度 |
S |
Rs(in air)/Rs(5000ppm CH4)≥3 Rs(in air)/Rs(2000ppm C3H8)≥3 |
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標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試條件 |
溫度、濕度 |
20℃±2℃；55%±5%RH |
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標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試電路 |
Vc:5.0V±0.1V； VH:2.8V±0.1V |
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注：產(chǎn)品參數(shù)如有變動(dòng)，恕不另行通知
