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型號(hào) |
VR-3200 |
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類型 |
量測(cè)頭 |
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適用控制器 |
VR-3000K |
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觀察量測(cè)範(fàn)圍 |
大視野模式 |
15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 12x |
水平(H) |
24mm |
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垂直(V) |
18mm |
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15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 25x |
水平(H) |
12mm |
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垂直(V) |
9mm |
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15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 38x |
水平(H) |
8mm |
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垂直(V) |
6mm |
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15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 50x |
水平(H) |
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垂直(V) |
4.5mm |
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高倍率模式 |
15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 40x |
水平(H) |
7.6mm |
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垂直(V) |
5.7mm |
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15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 80x |
水平(H) |
3.8mm |
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垂直(V) |
2.9mm |
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15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 120x |
水平(H) |
2.5mm |
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垂直(V) |
1.9mm |
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15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 160x |
水平(H) |
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垂直(V) |
1.4mm |
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鏡頭 |
1 至 4 倍 |
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可量測(cè)高度 |
大視野模式：10mm(±5mm) 高倍率模式：1mm(±0.5mm)*1 |
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顯示解析度 |
0.1 μm*2 |
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重覆精度 (σ) |
高度量測(cè) |
0.5 μm*3 |
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寬度量測(cè) |
大視野模式：1 μm、高倍率模式：0.5 μm*3 |
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量測(cè)精度 |
高度量測(cè) |
±3 ?μm*3 |
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寬度量測(cè) |
大視野模式：±5 μm、高倍率模式：±2 μm*3 |
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影像連接功能 |
全自動(dòng)(XY 自動(dòng)控制+ 自動(dòng)對(duì)焦)量測(cè)*4 |
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載物臺(tái) |
XY 載物臺(tái)移動(dòng)量 |
184 × 88 mm(電動(dòng)) |
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Z 載物臺(tái)移動(dòng)量 |
90 mm(電動(dòng)) |
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旋轉(zhuǎn)角 |
±180°（試料旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)） |
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傾斜角 |
±30° 以上 |
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動(dòng)作距離 |
75 mm |
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影像擷取元件 |
1 型400 萬(wàn)畫素黑白CMOS |
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投光鏡頭 |
雙重遠(yuǎn)心鏡頭 ×2 |
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受光鏡頭 |
雙重遠(yuǎn)心鏡頭 |
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照明系統(tǒng) |
觀察用光源 |
環(huán)形 LED 照明(紅、綠、藍(lán)) |
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量測(cè)用光源 |
白光 LED |
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影像尺寸 |
1024×768 畫素、2048×1536 畫素 |
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資料處理部份 |
KEYENCE 指定專用PC(OS 為 WINOOWs7)*5 |
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額定 |
電源電壓 |
100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz |
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耗電量 |
150 VA |
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環(huán)境抗耐性 |
環(huán)境溫度 |
+15 至 +30 °C |
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相對(duì)濕度 |
35 至 80 % RH (無(wú)凝結(jié)) |
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重量 |
28.0 kg |
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