東京精密Accretech uf60 wafter probin machine
探針臺是對晶圓上形成的所有芯片進(jìn)行電氣特性的測試的設(shè)備。使用這臺設(shè)備可以對芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。
Accretech UF系列基于一個靈活的平臺，具有高精度和高剛性，UF系列的一個更好的改進(jìn)型，在整個裝配和線寬越來越小的半導(dǎo)體技術(shù)進(jìn)步過程中，該臺設(shè)備主要用于晶圓比較薄的工藝。
UF60搭載圖像處理系統(tǒng)，實現(xiàn)自動化對齊，裝備標(biāo)準(zhǔn)上下料單元，適合測試分立器件的半自動探針臺，是一款適合6英寸晶圓/硅片的多用途設(shè)備。
