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型號(hào)

VL-570

類(lèi)型

測(cè)量頭

載物臺(tái)

VL-550、VL-530

控制器

VL-500

照明系統(tǒng)

觀察用光源

三色 LED(紅色、綠色、藍(lán)色)

測(cè)量用光源

藍(lán)色 LED

測(cè)量精度

±10 μm*1

測(cè)量分辨率

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量(4M 模式)

400 萬(wàn)點(diǎn)

高精度測(cè)量(16M 模式)

VL-550: 1600 萬(wàn)點(diǎn)*2
VL-530: —

測(cè)量范圍

低倍

?300×H200 mm

高倍

?70×H50 mm

顯示分辨率

0.1 μm*3

重復(fù)精度(σ)

2 μm*4

投光 光學(xué)系統(tǒng)

偏移投光型投影儀模塊

受光 光學(xué)系統(tǒng)

低倍、高倍偏移雙光學(xué)模塊

圖像拼接功能

自動(dòng)旋轉(zhuǎn)拼接測(cè)量

○

自動(dòng) XY 拼接測(cè)量

VL-550: ○
VL-530: —

自動(dòng) XY 拼接 測(cè)量范圍

低倍(2×2 合成)

VL-550: ?500×H200 mm
VL-530: —

低倍(3×1 合成)

VL-550: W580×D300×H200 mm*5
VL-530: —

高倍(2×2 合成)

VL-550: ?110×H50 mm
VL-530: —

高倍(3×1 合成)

VL-550: W150×D70×H50 mm*5
VL-530: —

載物臺(tái)

載物臺(tái)構(gòu)成

VL-550: 電動(dòng) XYθ 載物臺(tái)構(gòu)造
VL-530: 電動(dòng)θ 載物臺(tái)構(gòu)造

載物臺(tái)旋轉(zhuǎn)

360°(無(wú)限旋轉(zhuǎn))

載物臺(tái)移動(dòng)范圍

VL-550: ?200 mm
VL-530: —

傾斜構(gòu)造

45°

承受負(fù)重

VL-550: 50 kg
VL-530: 20 kg

控制用計(jì)算機(jī)

本公司專(zhuān)用 PC(OS 為 Windows®10)*6

電源

電源電壓

100 至 240 VAC±10％ 50/60 Hz

消耗功率

[VL-550] 控制器/ 測(cè)量頭: 200 VA、載物臺(tái): 80 VA
[VL-530] 控制器/ 測(cè)量頭: 200 VA、載物臺(tái): 200 VA

環(huán)境抗耐性

使用溫度范圍

+15 至 +30℃

使用濕度范圍

20 至 80%RH，但無(wú)凝結(jié)

重量

控制器: 3.8 kg
載物臺(tái): 26 kg (VL-550) 、25.4 kg (VL-530)
遮光罩: 5.5 kg (VL-550) 、3.6 kg (VL-530)
測(cè)量頭: 18.5 kg