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1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，氬弧焊接，上開蓋和前開門結(jié)構(gòu)
機械泵+分子泵（國產(chǎn)或進口可選）， 極限真空優(yōu)于8*10-5Pa（設(shè)備空載抽真空24h），大氣~8*10-4Pa≦30min；采用電阻電離一體化真空規(guī)管讀取真空度；閥門采用電磁驅(qū)動擋板閥和手動限流閥
蒸發(fā)源采用3組水冷銅電極，蒸發(fā)電源采用2KW逆變式電源，配源間防污隔板可拆卸式，尺寸60*60mm，旋轉(zhuǎn)：0-20r/min可調(diào)，可加熱至300℃，可選水冷或是帶角度調(diào)節(jié)功能的基片臺可選配進口或國產(chǎn)膜厚監(jiān)控儀在線監(jiān)測和控制蒸發(fā)速率、膜厚PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障，實現(xiàn)一鍵抽停真空L60cm×W60cm×H96cm 機電一體化機架，預留1個CF35法蘭接口