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產(chǎn)品特點(diǎn)1.該設(shè)備生長(zhǎng)溫度更低2.使用滑軌爐實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫，沉積速率快3.設(shè)備輝光均勻等效，均勻生長(zhǎng)，成膜質(zhì)量好4.支持外部真空規(guī)和壓力變送器5.支持智能進(jìn)氣，根據(jù)需要設(shè)定不同的溫度，自動(dòng)進(jìn)氣，進(jìn)氣定時(shí)間到后自動(dòng)停止進(jìn)氣6.支持云端數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，隨時(shí)查看數(shù)據(jù)7.支持爐膛移動(dòng)速度調(diào)節(jié)8.支持射頻電源根據(jù)外部工況條件自動(dòng)啟動(dòng)停止9.支持壓力恒定，壓力可以設(shè)定10.支持c壓保護(hù)，大壓力值可以設(shè)定，c過后系統(tǒng)自動(dòng)進(jìn)入保護(hù)