質(zhì)量流量控制器
SEC-E40 系列
(制造單位：HORIBA STEC有限公司)
適用于從微小流量到大流量控制的低成本型號(hào)
概要
· 適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制
· 適用于廣泛的用途：在普通產(chǎn)業(yè)市場(chǎng)中，擁有眾多的銷售業(yè)績，引以為豪。
· 低成本：產(chǎn)品陣容中有力求具有成本優(yōu)勢(shì)的型號(hào)： SEC-E40MK3/E50MK3
技術(shù)規(guī)格
型號(hào) |
SEC- (質(zhì)量流量控制器) |
E40/E40MK3 |
E50/E50MK3 |
SEF- (質(zhì)量流量計(jì)) |
E40 |
E50 |
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適用氣體種類*1 |
非腐蝕性氣體(MK3型號(hào)適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He) |
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氣體接觸部材質(zhì) |
SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼 |
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閥門型號(hào) |
非通電時(shí) 關(guān)閉 |
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標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.) |
20/30 SLM |
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