臺式勻膠機
中國半導體行業(yè)十大標志性品牌產(chǎn)品
華尊獎（中國行業(yè)標志性品牌推選活動組委會)
MINGAO現(xiàn)生產(chǎn)銷售KW-4A型旋轉(zhuǎn)鍍膜機。其價格便宜、體積小巧、使用方便，是一款膜層精密均勻鍍覆的理想產(chǎn)品。其防滑、防震、便攜的設計，使其成為實驗室中高級科研設備。
勻膠機簡述：
型號：KW-4A
勻膠機又稱甩膠機、旋轉(zhuǎn)涂膠機、旋轉(zhuǎn)涂膜機、旋轉(zhuǎn)涂層機、旋轉(zhuǎn)涂布機、真空鍍膜機，其總體由在國際上SOL-GEI技術(shù)領(lǐng)先的香港銘奧技術(shù)公司(HK MINGAO TECHNOLOGY, INC) 設計完成。其主要關(guān)鍵元器件由美國進口，整機裝配由深圳銘奧公司安裝調(diào)試完成。該機2009年已通過CE認證，其抗干擾以及干擾性都較其他非CE產(chǎn)品要好。該性能的具體表現(xiàn)為：當該勻膠機在運轉(zhuǎn)時，它不影響同處一室的其他設備，以保證其他設備的正常使用（如指針不漂移等受干擾后有影響的反應）；同時它本身也不會受到其他同處一室的設備運轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的磁場的干擾。從而保證實驗效果的穩(wěn)定性和可靠性。另外由于本公司采取了一些特殊的工藝手段，保證了轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動時平穩(wěn)性，從而保證了制備出來的膜層厚度均勻性。上述證明凱美特公司的勻膠機能使實驗具有良好的重復性、一致性、穩(wěn)定性。由于銘奧公司從2009年以來一直從事于溶膠-凝膠（SOL-GEL）技術(shù)、工藝、及設備的研究、開發(fā)。公司根據(jù)對這技術(shù)和工藝的深刻了解所研發(fā)出的薄膜制備設備系列十多年來以優(yōu)良的品質(zhì)及良好的售后服務暢銷中國、歐美、新加坡、韓國、日本以及臺灣地區(qū)等經(jīng)濟和科技發(fā)達國家和地區(qū)。
KW—4A型勻膠機適用于微電子、半導體、制版、新能源、生物材料、光學及表面涂覆等工藝，主要應用于溶膠-凝膠（sol-gel）實驗中的薄膜制作，其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂布在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)?？稍诠さV企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學之用。
兩級鍍膜工藝該工藝允許在低速和高速下鍍覆。KW-4A型旋轉(zhuǎn)鍍膜機可對多種基片（包括新型可旋鍍
SPI Supplies氮化硅薄膜窗和
多窗陣列）進行金屬氧化物、高分子和有機薄膜的鍍覆。鍍膜機的轉(zhuǎn)速越高，鍍膜越薄。
其他實用信息：理論上，最大基片的對角線長為9"(229mm)。通常，KW-4A所用最大標準尺寸
卡盤為6"(152mm)。超過此尺寸，我們就只能提供半定制或定制旋轉(zhuǎn)鍍膜機。筒壁和基片間必須預留一定的空間防止回濺，因此基片最大尺寸小于最大筒徑。另外還與電機功率有關(guān)，一旦晶片尺寸超過6"就必須使用更大功率的電機。如果用戶使用的是超薄晶片，該款鍍膜機在極限條件下可對8"晶片進行鍍覆。但用戶需要使用
特制的8"卡盤。請注意我們并不能保證在任何情況下都可對8"晶片進行鍍膜。如果您不愿冒此風險，請不要訂購此種8"晶片鍍膜配件。
本機具有以下特點：
1．電機勵磁和電樞分開供電。勵磁用12伏直流穩(wěn)壓電源供電，電樞用運放控制IRF830調(diào)速，它比可控硅調(diào)速優(yōu)越，故其轉(zhuǎn)速在500—8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。
2．本勻膠機有兩檔轉(zhuǎn)速。在啟動之后，先以低速運轉(zhuǎn)，然后自動變到高速運轉(zhuǎn)。兩檔速度及運行時間分別可調(diào)。
3．本勻膠機采用光電檢測，數(shù)字電路測速，對電機的轉(zhuǎn)速檢測快速準確。電機穩(wěn)速方面采用了光電隔離的精密負反饋電路，使整機在高達8000RPM以上轉(zhuǎn)速時仍十分穩(wěn)定，有力的保證了勻膠質(zhì)量。
4．“吸片”采用電子開關(guān)控制電磁閥完成氣路通斷，這樣適合流水線工藝，一個氣泵可同時帶幾臺勻膠機工作，提高效率。
5．勻膠機定時采用可調(diào)定時電路控制，面板上調(diào)節(jié)Timer旋鈕即可改變勻膠時間。
6．在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減震措施，因而勻膠機在運轉(zhuǎn)時噪音很低。
7．電磁閥與電機運行有連鎖功能，電磁閥未動作不能啟動電機運行，本次勻膠電機未停不能進行下次勻膠，若運行中誤按“CONTROL”鍵也不能停止吸氣，即不會產(chǎn)生跑片。
由于采用了以上一系列措施，故本機具有很高的轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性和快速啟動性，可以保證涂覆表面均勻，并可通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度。
技術(shù)指標：本機具有兩級轉(zhuǎn)速
SpeedⅠ調(diào)速范圍 500—2000轉(zhuǎn)/分
TimerⅠ勻膠時間 3—18秒
SpeedⅡ轉(zhuǎn)速范圍 1000—8000轉(zhuǎn)/分
TimerⅡ勻膠時間 3—60秒
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度 ±1%
電源電壓（二種） 220v/ 50Hz或110v /50Hz
電機功率 40W
被鍍物質(zhì)尺寸 Φ8—Φ150mm
真空泵抽氣速率 ≥60升/分
儀器尺寸：220×240×260 mm
毛重：6.8 Kg
體積緊湊：
KW-4A型勻膠機深10"(25.4cm)，寬8.5"(21.5cm)，高8.5"(21.5cm)，重15磅(6.8kg)。對工作空間不足的用戶來說，該款精致的產(chǎn)品非常理想。裝運尺寸：17"(43.2cm)x14"(35.6cm)x11"(27.9cm)；裝運重量：20磅(9.1kg).
我們是港澳臺地區(qū)最暢銷科研光電產(chǎn)品
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中國科學院上海技術(shù)物理所,中國科學院上海應用物理研究所
