平面正交光柵(GGET),既可以檢測圓軌跡又可以檢測直線軌跡或不規(guī)則的異形平面運(yùn)動(dòng)哈默納科直線模組諧波SHG-25-80-2SO。Wei Gao等用光電自準(zhǔn)直儀檢測主軸偏角的誤差,用電容位移測頭測出了主軸的軸向跳動(dòng)誤差,用直尺和電容位移測頭結(jié)合檢測出了導(dǎo)軌的直線度誤差。用于直線運(yùn)動(dòng)軌跡檢測的儀器,目前比較常用的有雙頻激光干涉儀和激光跟蹤儀。哈默納科直線模組諧波SHG-25-80-2SO上海交通大學(xué)與美國光動(dòng)公司合作,基于激光多普勒位移測量儀提出了一種沿體對(duì)角的機(jī)床空間幾何誤差的激光矢量測量方法,通過分步測量機(jī)床工作空間的4條體角線,并哈默納科直線模組諧波SHG-25-80-2SO結(jié)合空間誤差綜合模型快速分離機(jī)床的19項(xiàng)誤差。該方法通過添加3個(gè)面上的6條對(duì)角線,可以實(shí)現(xiàn)分離出機(jī)床的21項(xiàng)幾何誤差。
