愛德華EdwardsSTP 磁懸浮渦輪分子泵,對于需要長時間正常運行、無碳?xì)浠衔镂廴?、維護(hù)量盡可能少和低振動的應(yīng)用，Edwards STP 磁懸浮渦輪分子泵是優(yōu)選泵。
小巧而的 Edwards STPA1603C 渦輪分子泵采用 Edwards 的轉(zhuǎn)子進(jìn)行設(shè)計。它提供極高的吞吐量、高的性和的性能，滿足半導(dǎo)體制程的需要。其半機架的控制器和緊湊型設(shè)計可節(jié)省可觀的空間，而其的沉積減少系統(tǒng)提高了性和性能。STPA1603C 已經(jīng)在新的 200 mm 刻蝕工具上得到了證明，也能夠滿足 300 mm 氧化物腐蝕制程的需要
